11月7日下午,东华大学博士、上海工程技术大学教师汤信在产教融合大楼211会议室开展“纳米精度干涉计量关键技术及半导体产业应用”专题讲座。本次讲座由机械学院主办,吸引了来自多个学院的师生代表参与。

首先,汤信博士从仪器仪表在科技自主与产业升级中的战略地位切入。他指出,作为现代工业的“眼睛”与“标尺”,高精度计量装备的发展水平直接决定了一个国家在高技术制造业中的核心竞争力。特别是在当前国际技术竞争日趋激烈的背景下,我国半导体产业在干涉计量等关键环节仍高度依赖进口设备,面临着严峻的技术封锁与供应链不确定性。在这一背景下,实现纳米精度面型检测技术的自主研发,不仅是技术攻关的课题,更是关乎国家产业安全与创新自主的战略任务。

其次,在技术解析环节,汤信博士系统阐述了纳米精度材料加工面型干涉计量的核心机制与实现路径。他以迈克尔逊干涉仪为例,深入浅出地讲解了其光学构造与测量原理,并进一步拓展至剪切干涉中的距离标定方法与系统信噪比优化策略。围绕半导体制造中常见的检测难点,他详细介绍了多表面分离算法、抗振动干扰设计以及跨区域相位解包裹技术等前沿方法,强调这些方案在晶圆制造、封装测试等环节已展现出良好的工程适用性与稳定性。

再次,围绕“技术如何走向产业”这一关键议题,汤信博士指出,高精度计量不能仅停留在实验室阶段,必须与生产线工艺深度融合。他结合国家在半导体装备领域的政策布局与产业导向,提出“需求牵引、技术驱动、标准支撑”三位一体的发展思路,强调未来应进一步加强“产学研用”深度融合,构建以企业为主体、高校为支撑、市场为导向的协同创新体系,推动国产计量装备实现从“可用”到“好用”的跨越。

最后,在互动环节中,在场师生围绕半导体计量领域的职业发展路径、技术转化中的共性问题、跨学科团队建设等话题踊跃提问。汤信博士结合自身科研与教学经历,对每个问题都作出细致回应,并鼓励研究生积极投身硬科技领域,在解决国家战略需求中实现个人价值。

本场讲座作为机械学院推动学科交叉与产教融合的系列学术活动之一,不仅为广大师生搭建了了解国际前沿、拓展科研视野的高水平平台,也为促进校企合作、构建协同创新生态提供了有益探索。学院未来将持续举办此类高质量学术交流活动,助力研究生教育高质量发展与高水平学科建设。